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離子基準真空計IRG080是為真空系統(tǒng)中的精確總壓力測量而開發(fā)的一款真空傳感器。這種無源傳感器基于創(chuàng)新電 離理念,熱陰極發(fā)射的電子沿直線進入法拉第杯。IRG080適合作為10-8毫巴(10-6帕)至10-4毫巴(10-2帕)范圍內的參考標準。
VGC094真空計控器是真空過程測量、控制和數據記錄的解決方案。VGC094與各種INFICON無源真空計兼容,能夠監(jiān)測1×10-11至1000毫巴的整個真空壓力范圍。VGC094可由用戶配置,以控制多達4個無電源規(guī)頭(皮拉尼真空計, 倒置磁控管測量儀)通過兩組測量板進行測量。VGC094是性能要求苛刻的應用的理想解決方案,例如長距離、高溫或高電離輻射暴露的操作。
NFICON無源冷陰極規(guī)頭MAG084專為與真空計控制器VGC094一起使用。它們采用緊湊的設計,使其成為一種簡單而堅固的真空計,適用于多種工業(yè)應用。真空測量頭頭MAG084使用金屬密封,允許在特超高真 空范圍內進行壓力測量。
PSG010、PSG017和PSG018為歷史悠久的無源皮拉尼真空計,旨在使用真空計控制器VGC094進行操作。它們專為真空測量氣體而設計壓力范圍為8×10-4至1000毫巴。緊湊的金屬設計為普通真空應用提供了一種穩(wěn)健的解決方案。
IE414和IE514是基于熱陰極電離效應的高超真空傳感器。IE414是Bayard-Alpert量規(guī),而IE514基于Extractor提取器原理。這些無源真空計由IM540真空計控制器組合和控制。通過調節(jié)陰極發(fā)射電流,IE414的測量范圍從1×10-2毫巴到1×10-11毫巴,跨度超過9級。
IM540真空計控制器是一款多功能電離計控制器,可在10-12mbar和大氣壓范圍內提供完整的真空測量和控制。根據應用和用戶的需求,IM540是一站式解決方案,因為它可以結合多達4種不同的真空測量原理-皮拉尼、電容式隔膜、Bayard-Alpert和Extractor提取器。