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INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術(shù)與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規(guī)管中,可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓(1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓)范圍內(nèi)的壓力。HPG400 提供高可重復(fù)性和再現(xiàn)性壓力測量,實現(xiàn)精確控制鍍?yōu)R過程壓力。
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復(fù)合真空計 BPG402-S 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓(3.8×10-10 Torr 至大氣壓)。多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。為負(fù)擔(dān)不重且可重復(fù)的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的 BPG402-S,以經(jīng)濟(jì)高效的方式執(zhí)行基本壓力測量。
CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。
INFICON 波特™ CDG020D 電容隔膜壓力計是一款高質(zhì)量、高性價比、獨立于氣體類型的絕對壓力傳感器。波特設(shè)計用于在工業(yè)環(huán)境中實現(xiàn)穩(wěn)定的長時間性能。陶瓷傳感器在多年的免維護(hù)運行中具有出色的跨度穩(wěn)定性,并具有出色的零點穩(wěn)定性。耐腐蝕的單材料傳感器架構(gòu)保證了出色的溫度補(bǔ)償。全數(shù)字電子元件和小尺寸定義了任何集成的靈活性。波特真空計簡陋、可靠、隨時可用且從不多付錢。
Bayard-Alpert Pirani 電容式隔膜真空計 (Triple-Gauge™) BCG450 將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個體積小、價格低的規(guī)管中,可以測量從 5×10-10 至 1500 mbar(3.75×10-10 至 1125 Torr)的過程壓力和基本壓。BCG450 的設(shè)計旨在替代三個傳感器(熱電離、加強(qiáng)對流 Prani 和真空開關(guān)),因而節(jié)省了成本和寶貴的工具空間。
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。高級數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點調(diào)整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零位穩(wěn)定性(包括氣壓突變的情況),預(yù)期使用壽命長達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容