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中真空至超高真空單真空計

簡要描述:對于需要獨立熱離子規技術的應用,Trigon™ 系列中包含了采用單一技術的 Bayard-Alpert 熱電離規 BAG552。
BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設計。支持雙燈絲,具有出色的精度、可重復性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。

  • 產品型號:Trigon™ BAG552
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-01-03
  • 訪  問  量:85
  • 產品資料:查看pdf文檔

詳細介紹

品牌Inficon/英福康產地進口
加工定制

Trigon™ BAG552中真空至超高真空單真空計

對于需要獨立熱離子規技術的應用,Trigon™ 系列中包含了采用單一技術的 Bayard-Alpert 熱電離規 BAG552。BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設計。支持雙燈絲,具有出色的精度、可重復性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501VGC502 VGC503 配合使用。

優勢:

  • 1、純粹的 Bayard-Alpert 測量系統,適用于超高壓和高壓測量范圍

  • 2、雙燈絲設計

  • 3、電隔離電子設備,避免雜散電流

  • 4、滑動發射模式,避免在切換發射流時出現壓力跳躍和凍結現象

  • 5、可移動校準數據芯片,延長了烘烤時間

  • 6、設定點繼電器

  • 7、明亮大屏幕 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉),帶用戶界面

  • 8、模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

  • 9、可與 VGC50x 控制器系列配合使用

  • 10、符合 RoHS 規范

  • 典型應用:

  • 1、半導體工藝中的壓力測量

  • 2、工業鍍膜

  • 3、高真空至超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制

  • 中真空至超高真空單真空計




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