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高效、精確、簡(jiǎn)便的泄漏檢測(cè)，不僅歸功于高性能的檢測(cè)儀器，還離不開(kāi)儀器所配置的各種智能工具。今天，官微君就將用一篇文章，為您講清楚英福康那些應(yīng)用于氦氣檢漏操作，懂儀器、更懂你的實(shí)用工具們。
SMART-Spray氦氣噴槍
—— 智慧型全能幫手
SMART-Spray是英福康專為UL系列檢漏儀設(shè)計(jì)的便攜式、無(wú)線、無(wú)管氦氣噴槍，有了它，氦氣泄漏檢測(cè)時(shí)使用軟管搬運(yùn)超大氦氣瓶和反復(fù)手動(dòng)調(diào)節(jié)噴霧量的操作都將成為過(guò)去。
單次充裝氦氣，可噴氦超過(guò)1000次的SMART-Spray，不僅簡(jiǎn)化了檢測(cè)流程，提高了檢測(cè)效率，還能夠通過(guò)精確定位檢查點(diǎn)所需的氣體流量大大節(jié)省氦氣用量和檢測(cè)成本。
此外，其內(nèi)配備的彩色照明顯示屏，尤其適用于極限泄漏率小于 1 x 10-9 mbar x l/s的環(huán)境，或是有著許多測(cè)試點(diǎn)和潛在泄漏的復(fù)雜半導(dǎo)體的泄漏測(cè)試，讓檢漏操作更加靈活與簡(jiǎn)便。
I·BOOST信號(hào)處理濾波器
—— 提速技能滿分
依靠軟件更新后的I·BOOST信號(hào)處理濾波器，英福康可通過(guò)加速泄漏率信號(hào)、縮短噴涂間隔時(shí)間，來(lái)幫助用戶顯著提升測(cè)試效率，尤其適用于UL3000 Fab 和 UL6000 Fab 系列。
更值得一提的是，I·BOOST的優(yōu)勢(shì)在復(fù)雜的半導(dǎo)體系統(tǒng)檢漏應(yīng)用中尤為突出。“極限泄漏率越低，測(cè)試周期通常就越長(zhǎng)，而這正是 I·BOOST 的高靈敏度和省時(shí)。"英福康總部產(chǎn)品經(jīng)理馬庫(kù)斯-施萬(wàn)貝拉介紹說(shuō)。
SPRAY-Check參考漏孔
—— 不放過(guò)一處泄漏
SPRAY-Check是一種易于安裝的參考漏孔，其以石英窗為基礎(chǔ)，只對(duì)氦氣和氫氣等輕氣體有滲透性。使用其輔助泄漏檢測(cè)，不僅提高了安全性，還擴(kuò)展了檢測(cè)的功能，例如可在相關(guān)泄漏率范圍內(nèi)檢查測(cè)量設(shè)置和測(cè)試方案，或是將其直接連接到生產(chǎn)系統(tǒng)中進(jìn)行死區(qū)時(shí)間檢查等。
“在使用氦氣進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，從噴射氣體到檢漏儀顯示屏出現(xiàn)指示一般會(huì)有一段時(shí)間的間隔，用戶可通過(guò)估算該時(shí)間，來(lái)明確劃分出潛在的泄漏點(diǎn)。例如，若死鎖時(shí)間過(guò)后顯示屏沒(méi)有任何指示，則說(shuō)明沒(méi)有泄漏。"馬庫(kù)斯-施萬(wàn)貝拉進(jìn)一步解釋說(shuō)，“由于SPRAY-Check不受對(duì)工藝有害的氣體（如水或氧氣）的影響，因此它也可以安裝在半導(dǎo)體系統(tǒng)中，或應(yīng)用于極限泄漏率低于 10-9 mbar x l/s 的系統(tǒng)中。"
適配英福康UL系列檢漏儀，
助力提升半導(dǎo)體生產(chǎn)效率與品質(zhì)
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