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美國MKS公司出品的GE50A質量流量計*通知
我公司有全新美國MKS公司出品的GE50A質量流量計(貨號:GE50A004201S5V020;Ar,20SCCM,1/4卡套接口,RS485通訊)1臺,現**。請有意者詳詢。
GE50A彈性密封數字型質量流量控制器
MKS GE50A是通用型彈性密封流量控制器,適合流量范圍在5SCCM至50SLM的各種氣體流量控制。該GE50A控制器采用了的數字流量控制的電子原件及技術的熱傳感器和機械設計。
GE50A數字流量控制器可用于模擬和數字I/O,采用的MKS控制算法,對設備設定控制范圍提供快速、重復性好響應。典型的反應時間是500毫秒的量級,包括一個相對于精度1%的標定氣體的數字校準功能。能*替代那些相同的I/ O類型的1179A流量計,所有的GE50A都包括MODBUS備用I/O。
GE50A使用廣泛用于流量為5SCCM至50SLM的流量計的3英寸標準尺寸,無需修改現有的氣體管線配置。GE50A設計采用了zui小的使用彈性體,只有一個外彈性體密封件和彈性體閥塞。所有的濕潤表面是金屬的,根據不同的氣體可選擇Viton、Neoprene、Kalrez等密封方式,閥門可選擇常閉或常開。