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INFICON/CDG025D-X3替代MKS耐腐蝕薄膜規
您還在為尋找MKS產品煩惱嗎?現英福康(INFICON)可以替代部分MKS產品。我司的3CB1-F51-230B/CDG025D-X3(1000 torr;DN16 ISO-KF)可以替代MKS722;MKS626;MKS727等型號產品, 此款產品具抗腐蝕超純陶瓷傳感器和傳感器屏蔽功能,現有部分現貨為您準備好了,歡迎咨詢!
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計,可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能。高級數字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設定點調整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優異的零位穩定性(包括氣壓突變的情況),預期使用壽命長達數百萬次壓力循環。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅固的機械設計和數字電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩定性和溫度補償。CDG025D 為開機后快速穩定以及從氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。
好處:從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程;電源接通后快速穩定;暴露于大氣壓后快速恢復;防腐蝕陶瓷傳感器;長期信號穩定性;溫度補償;傳感器受雙重防污染保護;一鍵調零功能;寬范圍電源;2個設定點;RS232 接口;無塵室合規
典型應用:用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導體制造設備;數據存儲和顯示器制造設備;工業真空設備;經濟、高度精確的壓力測量